| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000048974 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 17 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 265-272 |
| Nachgewiesen in | Web of Science OpenAlex Scopus Dimensions |