Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000048977 |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 17 |
Heft | 1 |
Seiten | 165-173 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |