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Design of high stroke electrostatic micropumps: A charge control approach with ring electrodes

Bertarelli, Emanuele; Corigliano, Alberto; Greiner, Andreas; Korvink, Jan G.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-010-1185-7
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Web of Science
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seit 25.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen-ID: 1000048977
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 17
Heft 1
Seiten 165-173
Nachgewiesen in Web of Science
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