KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Design of high stroke electrostatic micropumps: A charge control approach with ring electrodes

Bertarelli, Emanuele; Corigliano, Alberto; Greiner, Andreas; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-010-1185-7
ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000048977
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 17
Heft 1
Seiten 165-173
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page