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Miniaturization limits of field-effect based MEMS accelerometers

Engesser, Manuel; Jakovlev, Oleg; Franke, Axel R.; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-010-1083-z
ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000048984
Erschienen in Microsystem Technologies - Journal of Information Storage and Processing Systems
Band 16
Heft 11
Seiten 1861-1868
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