Miniaturization limits of field-effect based MEMS accelerometers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000048984 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies - Journal of Information Storage and Processing Systems |
| Verlag | Springer |
| Band | 16 |
| Heft | 11 |
| Seiten | 1861-1868 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |