Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4244-5761-8 ISSN: 1084-6999 KITopen-ID: 1000048987 |
Erschienen in | IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : (MEMS 2010) ; Wanchai, Hong Kong, China, 24 - 28 January 2010 |
Seiten | 67-70 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |