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Design rule and orientation layout for MEMS curved beams on silicon

Chen, Tzung-Ming; Liu, Zhenyu; Korvink, Jan G.; Wallrabe, Ulrike



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/JMEMS.2010.2048416
ISSN: 1057-7157
KITopen ID: 1000048988
Erschienen in Journal of Microelectromechanical Systems
Band 19
Heft 3
Seiten 706-714
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