Design rule and orientation layout for MEMS curved beams on silicon
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1057-7157 KITopen-ID: 1000048988 |
| Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
| Verlag | IEEE Electron Devices Society |
| Band | 19 |
| Heft | 3 |
| Seiten | 706-714 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |