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12 ° design rule for single crystal silicon curved beam compliant mechanisms with large deformation

Chen, T.-M.; Krausse, S.; Korvink, J.G.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/MEMSYS.2010.5442442
ISBN: 978-1-4244-5764-9
ISSN: 1084-6999
KITopen ID: 1000048989
Erschienen in 2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : (MEMS 2010) ; Wanchai, Hong Kong, China, 24 - 28 January 2010
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 552-555
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