12 ° design rule for single crystal silicon curved beam compliant mechanisms with large deformation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-5764-9 ISSN: 1084-6999 KITopen-ID: 1000048989 |
| Erschienen in | 2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : (MEMS 2010) ; Wanchai, Hong Kong, China, 24 - 28 January 2010 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 552-555 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |