Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2010 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000048991 |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 16 |
Heft | 5 |
Seiten | 745-754 |
Nachgewiesen in | Web of Science Dimensions Scopus |