| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2010 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000048991 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 16 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 745-754 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Web of Science Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |