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A robust and flexible optimization technique for efficient shrinking of MEMS accelerometers

Engesser, Manuel; Franke, Axel R.; Maute, Matthias; Meisel, Daniel C.; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2010
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-009-0973-4
ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000048992
Erschienen in Microsystem Technologies - Journal of Information Storage and Processing Systems
Band 16
Heft 4
Seiten 647-654
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