Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-7354-0722-0 ISSN: 0094-243X KITopen-ID: 1000048996 |
Erschienen in | Third Manufacturing Engineering Society international conference, MESIC-09 : Alcoy, Spain, 17 - 19 June 2009. Ed.: V.J. Segui |
Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
Seiten | 317-323 |
Serie | AIP conference proceedings ; 1181 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |