| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-7354-0722-0 ISSN: 0094-243X KITopen-ID: 1000048996 |
| Erschienen in | Third Manufacturing Engineering Society international conference, MESIC-09 : Alcoy, Spain, 17 - 19 June 2009. Ed.: V.J. Segui |
| Verlag | American Institute of Physics (AIP) |
| Seiten | 317-323 |
| Serie | AIP conference proceedings ; 1181 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex |