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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285923

3D high aspect ratio, MEMS integrated micro-solenoids and Helmholtz micro-coils

Badilita, V.; Kratt, K.; Burger, T.; Korvink, J.G.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-4244-4191-4
KITopen ID: 1000048997
Erschienen in TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 21-25 June 2009, Denver, Colo.
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 1106-1109
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