3D high aspect ratio, MEMS integrated micro-solenoids and Helmholtz micro-coils
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-4191-4 KITopen-ID: 1000048997 |
| Erschienen in | TRANSDUCERS 2009 - 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 21-25 June 2009, Denver, Colo. |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 1106-1109 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |