Robust comb design for inductive displacement sensor with large travel and high sensitivity

Schonhardt, S.; Korvink, J.G.; Wallrabe, U.

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285692

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Jahr	2009
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-1-4244-4191-4 KITopen-ID: 1000048998
Erschienen in	TRANSDUCERS 2009 : 2009 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference ; Denver, Colorado, USA, 21 - 25 June 2009
Verlag	IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten	1912-1915
Nachgewiesen in	Scopus