Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Jahr | 2009 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4244-4191-4 KITopen-ID: 1000048998 |
Erschienen in | TRANSDUCERS 2009 : 2009 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference ; Denver, Colorado, USA, 21 - 25 June 2009 |
Verlag | IEEE, Piscataway (NJ) |
Seiten | 1912-1915 |
Nachgewiesen in | Scopus |