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Robust comb design for inductive displacement sensor with large travel and high sensitivity

Schonhardt, S.; Korvink, J.G.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/SENSOR.2009.5285692
ISBN: 978-1-4244-4191-4
KITopen ID: 1000048998
Erschienen in TRANSDUCERS 2009 : 2009 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference ; Denver, Colorado, USA, 21 - 25 June 2009
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 1912-1915
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