Robust comb design for inductive displacement sensor with large travel and high sensitivity
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Jahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-4191-4 KITopen ID: 1000048998 |
| Erschienen in | TRANSDUCERS 2009 : 2009 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference ; Denver, Colorado, USA, 21 - 25 June 2009 |
| Verlag | IEEE, Piscataway (NJ) |
| Seiten | 1912-1915 |