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High aspect ratio PMMA posts and characterization method for micro coils manufactured with an automatic wire bonder

Kratt, Kai; Badilita, Vlad; Bürger, Tobias; Mohr, Jürgen; Börner, Martin W.; Korvink, Jan G.,; Wallrabe, Ulrike



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/j.sna.2009.10.010
ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000048999
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Erschienen in Sensors and Actuators, A: Physical
Band 156
Heft 2
Seiten 328-333
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