KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

High aspect ratio PMMA posts and characterization method for micro coils manufactured with an automatic wire bonder

Kratt, Kai; Badilita, Vlad; Bürger, Tobias; Mohr, Jürgen 1; Börner, Martin W. 2; Korvink, Jan G.; Wallrabe, Ulrike
1 Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.sna.2009.10.010
Scopus
Zitationen: 23
Web of Science
Zitationen: 21
Dimensions
Zitationen: 24
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247, 1873-3069
KITopen-ID: 1000048999
HGF-Programm 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien
Erschienen in Sensors and actuators <Lausanne> / A
Verlag Elsevier
Band 156
Heft 2
Seiten 328-333
Nachgewiesen in Web of Science
Dimensions
Scopus
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page