High aspect ratio PMMA posts and characterization method for micro coils manufactured with an automatic wire bonder
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247, 1873-3069 KITopen-ID: 1000048999 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Erschienen in | Sensors and actuators <Lausanne> / A |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 156 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 328-333 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |