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Miniaturization limits of piezoresistive MEMS accelerometers

Engesser, Manuel; Franke, Axel R.; Maute, Matthias; Meisel, Daniel C.; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-009-0920-4
ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000049000
Erschienen in Microsystem Technologies - Journal of Information Storage and Processing Systems
Band 15
Heft 12
Seiten 1835-1844
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