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Optimization of an electromagnetic comb drive actuator

Schonhardt, S.; Korvink, J. G.; Mohr, J. 1; Hollenbach, U. 1; Wallrabe, U.
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/j.sna.2008.08.007
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Zitationen: 11
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Zitationen: 7
Dimensions
Zitationen: 6
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247
KITopen-ID: 1000049004
HGF-Programm 43.04.04 (POF II, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in Sensors and Actuators, A: Physical
Verlag Elsevier
Band 154
Heft 2
Seiten 212-217
Nachgewiesen in Dimensions
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