Optimization of an electromagnetic comb drive actuator
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 1000049004 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF II, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Sensors and Actuators, A: Physical |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 154 |
| Heft | 2 |
| Seiten | 212-217 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |