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Optimization of an electromagnetic comb drive actuator

Schonhardt, S.; Korvink, J.G.; Mohr, J.; Hollenbach, U.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2009
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/j.sna.2008.08.007
ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000049004
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in Sensors and Actuators, A: Physical
Band 154
Heft 2
Seiten 212-217
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