| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2009 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-4161-7 KITopen-ID: 1000049005 |
| Erschienen in | 10th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, EuroSimE 2009, Delft, 26-29 April 2009 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 4938507 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex |