Design and characterization of in-plane silicon stress sensors with isotropic sensitivity
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-2580-8 KITopen-ID: 1000049012 |
| Erschienen in | Proceedings of the Seventh IEEE Conference on Sensors, 26 - 29 Oct. 2008, Lecce, Italy |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 1528-1531 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |