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Design and characterization of in-plane silicon stress sensors with isotropic sensitivity

Herrmann, M.; Gieschke, P.; Liu, Z.; Korvink, J. G.; Ruther, P.; Paul, O.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/ICSENS.2008.4716738
ISBN: 978-1-4244-2580-8
KITopen ID: 1000049012
Erschienen in Proceedings of the Seventh IEEE Conference on Sensors, 26 - 29 Oct. 2008, Lecce, Italy
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 1528-1531
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