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Integrated process simulation of primary shaping: Multi scale approaches

Kauzlaric, David; Lienemann, Jan; Pastewka, Lars; Greiner, Andreas; Korvink, Jan G.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-008-0612-5
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Zitationen: 13
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen-ID: 1000049015
Erschienen in Microsystem Technologies- Micro- and Nanosystems Information Storage and Processing Systems
Verlag Springer
Band 14
Heft 12
Seiten 1789-1796
Nachgewiesen in Web of Science
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