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Integrated process simulation of primary shaping: Multi scale approaches

Kauzlaric, David; Lienemann, Jan; Pastewka, Lars; Greiner, Andreas; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-008-0612-5
ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000049015
Erschienen in Microsystem Technologies- Micro- and Nanosystems Information Storage and Processing Systems
Band 14
Heft 12
Seiten 1789-1796
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