| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000049015 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies- Micro- and Nanosystems Information Storage and Processing Systems |
| Verlag | Springer |
| Band | 14 |
| Heft | 12 |
| Seiten | 1789-1796 |
| Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions OpenAlex |