Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000049015 |
Erschienen in | Microsystem Technologies- Micro- and Nanosystems Information Storage and Processing Systems |
Verlag | Springer |
Band | 14 |
Heft | 12 |
Seiten | 1789-1796 |
Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |