Solenoidal micro coils manufactured with a wire bonder
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-1792-6 ISSN: 1084-6999 KITopen-ID: 1000049016 |
| Erschienen in | Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Tucson, AZ, 13-17 Jan. 2008 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 996-999 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |