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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMSYS.2008.4443826

Solenoidal micro coils manufactured with a wire bonder

Kratt, K.; Seidel, M.; Emmenegger, M.; Wallrabe, U.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-4244-1792-6
ISSN: 1084-6999
KITopen ID: 1000049016
Erschienen in Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), Tucson, AZ, 13-17 Jan. 2008
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 996-999
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