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Magnetic comb drive actuator

Schonhardt, S.; Korvink, J. G.; Mohr, J. 1; Hollenbach, U. 1; Wallrabe, U.
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMSYS.2008.4443697
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Zitationen: 6
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Zitationen: 6
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-4244-1792-6
KITopen-ID: 1000049017
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in Technical digest / MEMS 2008 Tucson, 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : January 13 - 17, 2008, Tucson, Arizona, USA
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Seiten 479-482
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