Magnetic comb drive actuator

Schonhardt, S.; Korvink, J. G.; Mohr, J. ¹; Hollenbach, U. ¹; Wallrabe, U.
¹ Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)

Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/MEMSYS.2008.4443697

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2008
Sprache	Englisch
Identifikator	ISBN: 978-1-4244-1792-6 KITopen-ID: 1000049017
HGF-Programm	43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in	Technical digest / MEMS 2008 Tucson, 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : January 13 - 17, 2008, Tucson, Arizona, USA
Verlag	Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Seiten	479-482
Nachgewiesen in	Scopus OpenAlex Dimensions
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