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Magnetic comb drive actuator

Schonhardt, S.; Korvink, J.G.; Mohr, J.; Hollenbach, U.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/MEMSYS.2008.4443697
ISBN: 978-1-4244-1792-6
KITopen ID: 1000049017
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in Technical digest / MEMS 2008 Tucson, 21st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems : January 13 - 17, 2008, Tucson, Arizona, USA
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 479-482
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