Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4244-1792-6 KITopen-ID: 1000049018 |
Erschienen in | IEEE 21st International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2008 : MEMS 2008 ; 13 - 17 Jan. 2008, Tucson, Arizona, USA |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 633-636 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |