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Combdrive configuration for an electromagnetic reluctance actuator

Schonhardt, Stefan; Korvink, Jan G.; Mohr, Jürgen 1; Hollenbach, Uwe 1; Wallrabe, Ulrike
1 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/JMEMS.2008.927068
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Zitationen: 3
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Zitationen: 3
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 1057-7157
KITopen-ID: 1000049019
HGF-Programm 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme
Erschienen in Journal of Microelectromechanical Systems
Verlag IEEE Electron Devices Society
Band 17
Heft 5
Seiten 1164-1171
Nachgewiesen in Dimensions
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