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Combdrive configuration for an electromagnetic reluctance actuator

Schonhardt, Stefan; Korvink, Jan G.; Mohr, Jürgen; Hollenbach, Uwe; Wallrabe, Ulrike



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1109/JMEMS.2008.927068
ISSN: 1057-7157
KITopen ID: 1000049019
HGF-Programm 43.04.04; LK 01
Erschienen in Journal of Microelectromechanical Systems
Band 17
Heft 5
Seiten 1164-1171
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