Combdrive configuration for an electromagnetic reluctance actuator
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 1057-7157 KITopen-ID: 1000049019 |
| HGF-Programm | 43.04.04 (POF I, LK 01) Photonische Systeme |
| Erschienen in | Journal of Microelectromechanical Systems |
| Verlag | IEEE Electron Devices Society |
| Band | 17 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 1164-1171 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |