Process for the fabrication of hollow core solenoidal microcoils in borosilicate glass
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000049020 |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
| Band | 18 |
| Heft | 7 |
| Seiten | Art.Nr.075002 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |