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Process for the fabrication of hollow core solenoidal microcoils in borosilicate glass

Klein, Mona J. K.; Ono, Takahito; Esashi, Masayoshi; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/0960-1317/18/7/075002
ISSN: 0960-1317
KITopen ID: 1000049020
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 18
Heft 7
Seiten Art.Nr.075002
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