Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-0-8194-7191-8 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000049022 |
Erschienen in | MEMS, MOEMS, and micromachining III : 9 - 10 April 2008, Strasbourg, France. Ed.: H. Urey |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 699304 |
Serie | Proceedings / SPIE ; 6993 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |