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Micromachined multicavity grey body emitter for the use in MIR spectroscopic systems

Hildenbrand, J.; Kürzinger, A.; Morettona, E.; Greinerb, A.; Lambrecht, A.; Wöllenstein, J.; Korvink, J. G.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2008
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-8194-7191-8
ISSN: 0277-786X
KITopen-ID: 1000049022
Erschienen in MEMS, MOEMS, and micromachining III : 9 - 10 April 2008, Strasbourg, France. Ed.: H. Urey
Verlag Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Seiten 699304
Serie Proceedings / SPIE ; 6993
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