Micromachined multicavity grey body emitter for the use in MIR spectroscopic systems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-8194-7191-8 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000049022 |
| Erschienen in | MEMS, MOEMS, and micromachining III : 9 - 10 April 2008, Strasbourg, France. Ed.: H. Urey |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 699304 |
| Serie | Proceedings / SPIE ; 6993 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |