Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2008 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISSN: 0083-5560 KITopen-ID: 1000049024 |
Erschienen in | VDI Berichte |
Verlag | VDI Verlag |
Heft | 2011 |
Seiten | 851-858 |
Nachgewiesen in | Scopus |