| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2008 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0083-5560 KITopen-ID: 1000049024 |
| Erschienen in | VDI Berichte |
| Verlag | VDI Verlag |
| Heft | 2011 |
| Seiten | 851-858 |
| Nachgewiesen in | Scopus |