| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2007 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4244-1858-9 KITopen-ID: 1000049027 |
| Erschienen in | International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, MHS Ž07, Nogoya, 11-14 Nov. 2007 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 511-513 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus |