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MEMS : a practical guide to design, analysis, and applications

Korvink, JanG. [Hrsg.]; Paul, Oliver [Hrsg.]



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buch
Jahr 2006
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-540-21117-4
KITopen ID: 1000049033
Verlag Springer, Heidelberg
Umfang XXV, 965 S.
Serie Micro-electro-mechanical systems
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