MEMS : a practical guide to design, analysis, and applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buch |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-540-21117-4 KITopen-ID: 1000049033 |
| Verlag | Springer Verlag |
| Umfang | XXV, 965 S. |
| Serie | Micro-electro-mechanical systems |
| Nachgewiesen in | Scopus |