Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2006 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000049036 |
HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
Erschienen in | Microsystem Technologies |
Verlag | Springer |
Band | 12 |
Heft | 10-11 |
Seiten | 941-946 |
Nachgewiesen in | Scopus Web of Science Dimensions |