| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2006 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000049036 |
| HGF-Programm | 43.01.03 (POF I, LK 01) Replikation |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 12 |
| Heft | 10-11 |
| Seiten | 941-946 |
| Nachgewiesen in | Dimensions OpenAlex Scopus Web of Science |