| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-9767985-2-2 KITopen-ID: 1000049045 |
| Erschienen in | NSTI Nanotechnology Conference and Trade Show - NSTI Nanotech 2005, May 8 - 12, 2005, Anaheim, California, USA. Vol. 3 |
| Verlag | NSTI |
| Seiten | 684-687 |
| Nachgewiesen in | Scopus |