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Dynamic electro-thermal simulation of microsystems - A review

Bechtold, Tamara; Rudnyi, Evgenii B.; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/0960-1317/15/11/R01
ISSN: 0960-1317
KITopen ID: 1000049047
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 15
Heft 11
Seiten R17-R31
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