Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen-ID: 1000049047 |
Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
Verlag | Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd) |
Band | 15 |
Heft | 11 |
Seiten | R17-R31 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus Web of Science |