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Miniaturized fourier transform spectrometer for the near infrared wavelength regime incorporating an electromagnetic linear actuator

Wallrabe, U.; Solf, C.; Mohr, J.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/j.sna.2005.05.014
ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000049048
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erschienen in Sensors and Actuators, A: Physical
Band 123-124
Seiten 459-467
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