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Connecting heat transfer macromodels for array MEMS structures

Bechtold, Tamara; Rudnyi, Evgenii B.; Korvink, Jan G.; Gräf, Markus K.; Hierlemann, Andreas



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1088/0960-1317/15/6/010
ISSN: 0960-1317
KITopen ID: 1000049049
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 15
Heft 6
Seiten 1205-1214
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