| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 1000049056 |
| Erschienen in | NSTI Nanotechnology Conference and Trade Show : NSTI Nanotech 2004; March 7 - 11, 2004, Boston, Massachusetts, USA. Vol. 2. Ed.: M. Laudon |
| Verlag | Nano Science and Technology Institute |
| Seiten | 279-282 |
| Nachgewiesen in | Scopus |