| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-9728422-8-4 KITopen-ID: 1000049059 |
| Erschienen in | 2004 NSTI Nanotechnology Conference and Trade Show - NSTI Nanotech 2004, 7-11 March 2004. Vol. 2. Ed.: M. Laudon |
| Verlag | Nano Science and Technology Institute |
| Seiten | 303-306 |
| Nachgewiesen in | Scopus |