Structural optimization of a large-displacement electromagnetic Lorentz force microactuator for optical switching applications

Han, Jeong Sam; Ko, Jong Soo; Korvink, Jan G.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Jahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	DOI: 10.1088/0960-1317/14/11/021 ISSN: 0960-1317 KITopen ID: 1000049060
Erschienen in	Journal of Micromechanics and Microengineering
Band	14
Heft	11
Seiten	1585-1596