Structural optimization of a large-displacement electromagnetic Lorentz force microactuator for optical switching applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0960-1317 KITopen ID: 1000049060 |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 14 |
| Heft | 11 |
| Seiten | 1585-1596 |