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Structural optimization of a large-displacement electromagnetic Lorentz force microactuator for optical switching applications

Han, Jeong Sam; Ko, Jong Soo; Korvink, Jan G.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1088/0960-1317/14/11/021
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seit 01.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0960-1317
KITopen-ID: 1000049060
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 14
Heft 11
Seiten 1585-1596
Nachgewiesen in Web of Science
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