Model order reduction of 3D electro-thermal model for a novel micromachined hotplate Gas sensor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7803-8420-2 KITopen-ID: 1000049061 |
| Erschienen in | Thermal and mechanical simulation and experiments in microelectronics and microsystems : Proceedings of the 5th International Conference on Thermal and Mechanical Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, ESIME 2004, March 10 - 12, Novotel Tour Noire, Brussels, Belgium. Ed.: L. J. Ernst |
| Verlag | Maastricht |
| Seiten | 263-267 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex |