Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-7803-8420-2 KITopen-ID: 1000049062 |
Erschienen in | Thermal and mechanical simulation and experiments in microelectronics and microsystems : Proceedings of the 5th International Conference on Thermal and Mechanical Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems, ESIME 2004, March 10 - 12, Novotel Tour Noire, Brussels, Belgium. Ed.: L. J. Ernst |
Verlag | Maastricht |
Seiten | 101-104 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |