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Dynamic modeling of interactions between fields and matter in MEMS devices

Zeng, K.; Liu, Z.; Korvink, J.G.



Originalveröffentlichung
DOI: 10.1007/s00542-004-0417-0
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seit 01.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0946-7076
KITopen-ID: 1000049064
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Heft 5
Seiten 387-392
Nachgewiesen in Web of Science
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