Dynamic modeling of interactions between fields and matter in MEMS devices
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0946-7076 KITopen-ID: 1000049064 |
| Erschienen in | Microsystem Technologies |
| Verlag | Springer |
| Band | 10 |
| Heft | 5 |
| Seiten | 387-392 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus Dimensions |