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Dynamic modeling of interactions between fields and matter in MEMS devices

Zeng, K.; Liu, Z.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1007/s00542-004-0417-0
ISSN: 0946-7076
KITopen ID: 1000049064
Erschienen in Microsystem Technologies
Band 10
Heft 5
Seiten 387-392
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