| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0083-5560 KITopen-ID: 1000049068 |
| Erschienen in | VDI Berichte |
| Verlag | VDI Verlag |
| Heft | 1803 |
| Seiten | 179-182 |
| Nachgewiesen in | Scopus |