Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0083-5560 KITopen-ID: 1000049068 |
Erschienen in | VDI Berichte |
Verlag | VDI Verlag |
Heft | 1803 |
Seiten | 179-182 |
Nachgewiesen in | Scopus |