Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-9728422-0-9 KITopen-ID: 1000049069 |
Erschienen in | Nanotech 2003 / The 2003 Nanotechnology Conference and Trade Show, Nanotech 2003 meeting includes: 6th International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems, MSM 2003; 3rd International Conference on Computational Nanoscience and Technology, ICCN 2003; 2003 Workshop on Compact Modeling 2003. Ed.: M. Laudon |
Verlag | Computational Publications |
Seiten | 582-585 |
Nachgewiesen in | Scopus |