| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-62410-126-7 KITopen-ID: 1000049074 |
| Erschienen in | NanoTech 2002 - "At the Edge of Revolution" |
| Verlag | American Institute of Aeronautics and Astronautics |
| Nachgewiesen in | Scopus |