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Surface tension defects in micro-fluidic self-alignment

Lienemann, J.; Greiner, A.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1117/12.462862
ISBN: 0-8194-4518-5
ISSN: 0277-786X
KITopen ID: 1000049075
Erschienen in Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS 2002 : [proceedings of the Conference on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS], 6 - 8 May, Cannes, France. Ed.: B. Courtois
Verlag SPIE, Bellingham (Wash.)
Seiten 55-63
Serie Proceedings / SPIE ; 4755
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