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Design and fabrication of a novel low cost hotplate micro gas sensor

Hildenbrand, J.; Wöllenstein, J.; Spiller, E.; Kühner, G.; Böttner, H.; Urban, G.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2002
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1117/12.462811
ISBN: 0-8194-4518-5
ISSN: 0277-786X
KITopen ID: 1000049076
Erschienen in Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS 2002 : [proceedings of the Conference on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS], 6 - 8 May, Cannes, France. Ed.: B. Courtois
Verlag SPIE, Bellingham (Wash.)
Seiten 191-199
Serie Proceedings / SPIE ; 4755
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