Design and fabrication of a novel low cost hotplate micro gas sensor
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-8194-4518-5 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000049076 |
| Erschienen in | Design, test, integration, and packaging of MEMS/MOEMS 2002 : [proceedings of the Conference on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS], 6 - 8 May, Cannes, France. Ed.: B. Courtois |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 191-199 |
| Serie | Proceedings / SPIE ; 4755 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |