Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-9708275-0-4 KITopen-ID: 1000049077 |
Erschienen in | International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems, MSM 2001, an Interdisciplinary Integrative Forum on Modeling, simulation and Scientific Computing in the Microelectronic, Semiconductor, Sensors, Materials and Bietechnology Fields, March 19 - 21, Hilton Head Island, SC, USA. Ed. M. Laudon |
Verlag | Computational Publ. |
Seiten | 15-18 |
Nachgewiesen in | Scopus |