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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/S0924-4247(01)00587-8
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Zitationen: 2

Simulation procedure to improve piezoresistive microsensors used for monitoring ball bonding

Osorio, R.; Mayer, M.; Schwizer, J.; Korvink, J.G.; Baltes, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247
KITopen-ID: 1000049079
Erschienen in Sensors and Actuators, A: Physical
Band 92
Heft 1-3
Seiten 299-304
Nachgewiesen in Web of Science
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