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Simulation procedure to improve piezoresistive microsensors used for monitoring ball bonding

Osorio, R.; Mayer, M.; Schwizer, J.; Korvink, J.G.; Baltes, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1016/S0924-4247(01)00587-8
ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 1000049079
Erschienen in Sensors and Actuators, A: Physical
Band 92
Heft 1-3
Seiten 299-304
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