Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0171-8096 KITopen-ID: 1000049080 |
Erschienen in | Technisches Messen |
Verlag | De Gruyter |
Band | 68 |
Heft | 6 |
Seiten | 298-308 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions Web of Science |