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Automatic mesh adaptivity for finite element simulation of multi-layer MEMS

Mueller, Jens; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1117/12.395615
ISSN: 0277-786X
KITopen ID: 1000049081
Erschienen in Materials and device characterization in micromachining III ; 18 - 19 September 2000, Santa Clara, USA. Ed.: Y. Vladimirsky
Verlag SPIE, Bellingham (Wash.)
Seiten 82-93
Serie Proceedings of SPIE ; 4175
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