Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000049081 |
Erschienen in | Materials and device characterization in micromachining III ; 18 - 19 September 2000, Santa Clara, USA. Ed.: Y. Vladimirsky |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 82-93 |
Serie | Proceedings of SPIE ; 4175 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |