Automatic mesh adaptivity for finite element simulation of multi-layer MEMS
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000049081 |
| Erschienen in | Materials and device characterization in micromachining III ; 18 - 19 September 2000, Santa Clara, USA. Ed.: Y. Vladimirsky |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 82-93 |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 4175 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |