Nanometer-scale height measurements in micromachined picoliter vials based on interference fringe analysis
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-7695-0750-6 KITopen-ID: 1000049082 |
| Erschienen in | Proceedings / 15th International Conference on Pattern Recognition : Barcelona, Spain, September 3 - 7, 2000 / ICPR - 2000. Vol. 3. Ed.: A. Sanfeliu |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 57-62 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |