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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/ICPR.2000.903485

Nanometer-scale height measurements in micromachined picoliter vials based on interference fringe analysis

Van Den Doel, L.R.; Van Vliet, L.J.; Hjelt, K.T.; Vellekoop, M.J.; Gromball, F.; Korvink, J.G.; Young, I.T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-7695-0750-6
KITopen ID: 1000049082
Erschienen in Proceedings / 15th International Conference on Pattern Recognition : Barcelona, Spain, September 3 - 7, 2000 / ICPR - 2000. Vol. 3. Ed.: A. Sanfeliu
Verlag IEEE, Los Alamitos
Seiten 57-62
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