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Nanometer-scale height measurements in micromachined picoliter vials based on interference fringe analysis

Van Den Doel, L. R.; Van Vliet, L. J.; Hjelt, K. T.; Vellekoop, M. J.; Gromball, F.; Korvink, J. G.; Young, I. T.


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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/ICPR.2000.903485
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-7695-0750-6
KITopen-ID: 1000049082
Erschienen in Proceedings / 15th International Conference on Pattern Recognition : Barcelona, Spain, September 3 - 7, 2000 / ICPR - 2000. Vol. 3. Ed.: A. Sanfeliu
Verlag Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Seiten 57-62
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