Nonlinear analysis of electrostatic actuation in MEMS with arbitrary geometry
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-9666135-7-0 KITopen-ID: 1000049084 |
| Erschienen in | International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems : MSM 2000; an interdisciplinary integrative forum on modeling, simulation and scientific computing in the microelectronic, semiconductor, sensors, materials and biotechnology fields; March 27 - 29, 2000, San Diego, CA, USA. Ed.: M. Laudon |
| Verlag | Computational Publ. |
| Seiten | 485-488 |
| Nachgewiesen in | Scopus |