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Nonlinear analysis of electrostatic actuation in MEMS with arbitrary geometry

Taschini, S.; Baltes, H.; Korvink, J.G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-9666135-7-0
KITopen ID: 1000049084
Erschienen in International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems : MSM 2000; an interdisciplinary integrative forum on modeling, simulation and scientific computing in the microelectronic, semiconductor, sensors, materials and biotechnology fields; March 27 - 29, 2000, San Diego, CA, USA. Ed.: M. Laudon
Verlag Computational Publ., Boston
Seiten 485-488
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