Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-9666135-7-0 KITopen-ID: 1000049084 |
Erschienen in | International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems : MSM 2000; an interdisciplinary integrative forum on modeling, simulation and scientific computing in the microelectronic, semiconductor, sensors, materials and biotechnology fields; March 27 - 29, 2000, San Diego, CA, USA. Ed.: M. Laudon |
Verlag | Computational Publ. |
Seiten | 485-488 |
Nachgewiesen in | Scopus |