Analysis of noise and fluctuations in micromachined devices
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 0-8194-3473-6 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000049086 |
| Erschienen in | Micromachined devices and components : 5; Santa Clara, Calif., 20 - 21 Sept. 1999. Ed.: P. J. French |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | 104-112 |
| Serie | Proceedings / SPIE ; 3876 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |