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Analysis of noise and fluctuations in micromachined devices

Greiner, Andreas; Korvink, Jan G.


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1117/12.360485
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Zitationen: 1
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Zitationen: 1
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 0-8194-3473-6
ISSN: 0277-786X
KITopen-ID: 1000049086
Erschienen in Micromachined devices and components : 5; Santa Clara, Calif., 20 - 21 Sept. 1999. Ed.: P. J. French
Verlag Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE)
Seiten 104-112
Serie Proceedings / SPIE ; 3876
Nachgewiesen in Scopus
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