Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 0-8194-3473-6 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 1000049086 |
Erschienen in | Micromachined devices and components : 5; Santa Clara, Calif., 20 - 21 Sept. 1999. Ed.: P. J. French |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | 104-112 |
Serie | Proceedings / SPIE ; 3876 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |