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Analysis of noise and fluctuations in micromachined devices

Greiner, Andreas; Korvink, Jan G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator DOI: 10.1117/12.360485
ISBN: 0-8194-3473-6
ISSN: 0277-786X
KITopen ID: 1000049086
Erschienen in Micromachined devices and components : 5; Santa Clara, Calif., 20 - 21 Sept. 1999. Ed.: P. J. French
Verlag SPIE, Bellingham (Wash)
Seiten 104-112
Serie Proceedings / SPIE ; 3876
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