Application of harmonic finite element analysis to a CMOS heat-capacity measurement structure
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Jahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0914-4935 KITopen-ID: 1000049088 |
| Erschienen in | Sensors and Materials |
| Band | 10 |
| Heft | 7 |
| Seiten | 405-412 |
| Nachgewiesen in | Web of Science Scopus |