Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Jahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISSN: 0914-4935 KITopen ID: 1000049088 |
Erschienen in | Sensors and Materials |
Band | 10 |
Heft | 7 |
Seiten | 405-412 |