Application of harmonic finite element analysis to a CMOS heat-capacity measurement structure

Emmenegger, Markus; Korvink, Jan G.; Bächtold, Martin; Von Arx, Martin; Paul, Oliver M.; Baltes, Henry

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Jahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0914-4935 KITopen ID: 1000049088
Erschienen in	Sensors and Materials
Band	10
Heft	7
Seiten	405-412

Web of Science