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Application of harmonic finite element analysis to a CMOS heat-capacity measurement structure

Emmenegger, Markus; Korvink, Jan G.; Bächtold, Martin; Von Arx, Martin; Paul, Oliver M.; Baltes, Henry



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0914-4935
KITopen ID: 1000049088
Erschienen in Sensors and Materials
Band 10
Heft 7
Seiten 405-412
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